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紫外光柵偏振片的參數(shù)優(yōu)化
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infotek
2021-11-26 10:04
紫外光柵偏振片的參數(shù)優(yōu)化
案例315（3.1）
)$1>6C \
.6T0d 4 ,1
該應用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。
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