| cyqdesign |
2021-11-30 10:02 |
關(guān)于國產(chǎn)光刻機(jī)的那段歷史
1982年，中科院研制出的KHA-75-1光刻機(jī)，和當(dāng)時(shí)最先進(jìn)的佳能光刻機(jī)相比，差距也就在四年左右�？上Ш罄m(xù)因?yàn)闆]有投放到商用領(lǐng)域，以及科研經(jīng)費(fèi)的不足，為了促活經(jīng)濟(jì)，國內(nèi)開始采購集成電路生產(chǎn)線設(shè)備，國產(chǎn)光刻機(jī)的研究，無奈進(jìn)入了停滯狀態(tài)。 e8!5 I,I
rjAn@!| :+
[attachment=109798] l
-m
| |