| gangzi0801 |
2022-03-31 12:16 |
非球面光學(xué)元件面型檢測技術(shù)研究進(jìn)展與最新應(yīng)用
非球面光學(xué)元件，特別是其中的自由曲面元件，在設(shè)計(jì)自由度上相比于球面具有很大的優(yōu)勢，基于非球面構(gòu)建的光學(xué)系統(tǒng)能夠以簡單的光機(jī)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的設(shè)計(jì)目的。面型檢測技術(shù)是保障光學(xué)非球面加工精度的關(guān)鍵，針對(duì)不同種類的非球面以及非球面加工的不同階段對(duì)檢測指標(biāo)要求的多樣性，現(xiàn)已發(fā)展出了種類繁多的檢測方法。本文回顧了非球面光學(xué)元件面型檢測技術(shù)的發(fā)展歷程，分非干涉法與干涉法兩大類整理了常用的檢測技術(shù)，介紹了各自的技術(shù)指標(biāo)與適用條件、研究進(jìn)展與應(yīng)用情況。本文重點(diǎn)討論了基于干涉方法的非球面精密檢測技術(shù)，舉例說明了非零位與零位兩條技術(shù)路線下各檢測方法的基本原理、光路結(jié)構(gòu)與檢測能力，對(duì)比分析了各方法的優(yōu)缺點(diǎn)與適用范圍，介紹了一些配套算法以及檢測光路的精密調(diào)節(jié)方法。
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