集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析
在最近的幾十年里,COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um,甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時(shí),這也為覆蓋在每個(gè)像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中,我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴(yán)格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。 >dk9f}7- `@|w>8bMz{ 2. 建模任務(wù) =Ey`M#t; !qA8Zky_
采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) A:eG5K} =MC~GXJSNw 采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) Q2eXK[?* )r9b:c\ 3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) y? "@v. [Uli>/%JB pCC
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