光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器技術(shù)原理介紹
光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器，簡(jiǎn)稱(chēng)為“光波導(dǎo)傳感器”，實(shí)際光學(xué)波導(dǎo)就是通過(guò)玻璃光波導(dǎo)面固定對(duì)某一種被測(cè)氣體有選擇性響應(yīng)的敏感試劑，來(lái)制作的薄膜光波導(dǎo)氣體傳感器。首先利用離子交換法可以制備出折射率平穩(wěn)變化的光波導(dǎo)，然后通過(guò)玻璃基板表面附近結(jié)合比較弱的或可移動(dòng)的離子與玻璃表面的半徑較小離子進(jìn)行交換，可以形成折射率略高于基板的導(dǎo)波。 RP~vB#}
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接著將篩選具有一定選擇性的敏感材料，通過(guò)旋轉(zhuǎn)甩涂法或者提拉法固定在玻璃光波導(dǎo)表面，制作薄膜玻璃光波導(dǎo)傳感元件，將薄膜玻璃光波導(dǎo)傳感元件安裝在光波導(dǎo)檢測(cè)系統(tǒng)中對(duì)氣體進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)敏感層與被測(cè)氣體相互按觸時(shí)，氣敏改變敏感薄膜的光學(xué)參數(shù)，進(jìn)而引起臨近波傳播模式的改變,導(dǎo)致輸出光強(qiáng)度的變化。 / 63 W\
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光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器架構(gòu)圖 nszpG1U:
那么光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器輸出光強(qiáng)度變化程度，與被測(cè)氣體濃度有關(guān)，因此檢測(cè)輸出光強(qiáng)度的變化就可以獲得被測(cè)氣體濃度的有關(guān)信息。 P1 7>
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