非近軸衍射分束器的設計與優(yōu)化

=0TnH<`   衍射分束器能夠通過預先設置的功率比值將單束激光分割成多束，廣泛應用于激光材料加工和光學計量等領(lǐng)域。但是由于非近軸、高數(shù)值孔徑分束和衍射角所需的特征尺寸較小，這種器件的設計和優(yōu)化可能具有難度。VirtualLab Fusion為光學工程師提供了幾個工具來幫助他們完成這項任務。 *x2+sgSf_0   VG^*?62   為了說明一般工作流程，我們展示了兩個案例：在第一個案例中，我們采用迭代傅里葉變換算法(IFTA)和基于薄元近似（TEA）的結(jié)構(gòu)設計生成一系列分束器的初始設計，然后通過傅里葉模態(tài)法或嚴格耦合波分析(FMM/RCWA)進一步優(yōu)化。為了給最后一個優(yōu)化步驟定義一個合適和有效的優(yōu)化函數(shù)，應用了可編程光柵分析器。第二個示例更詳細地介紹了這一部分。 t6BggO"_u   非近軸衍射分束器的嚴格分析 p<*3mbgGO   R<@s]xX_        l9"0Wu@_x   采用傅里葉模態(tài)法(FMM)對非近軸衍射分束器進行了嚴格的評價，該方法最初采用迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元近似算法(TEA)進行設計。 os|8/[gT   高數(shù)值孔徑分束器優(yōu)化與用戶定義的優(yōu)化函數(shù) G1