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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 低溫TI3O5 SIO2。RF輔助鍍膜。膜強(qiáng)度差。什么原因造成？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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repent134	2023-03-30 09:36
低溫TI3O5 SIO2。RF輔助鍍膜。膜強(qiáng)度差。什么原因造成？成膜后破壞鍍膜表層，用擦拭液擦拭膜層延展性比較大

yzhuang	2023-03-30 09:58
這個(gè)Ti3O5成膜溫度一般不能太低吧，建議150℃以上，低溫成膜牢固度與吸收均不夠理想，如果想低溫成膜，高折射率材料用Ta2O5可能更好一些 *Vc=]Z2G^

repent134	2023-03-30 10:10
主要SIO2打底層，掉膜也是掉到了基板

小時(shí)候_我很帥	2023-03-30 12:32
離子源&充氧&電子槍速率方面看下

嚶?lián)糸L(zhǎng)空	2023-03-31 01:27
建議測(cè)一下溫度

石前林	2023-03-31 10:54
基片是否干凈，擴(kuò)散泵是否返油，第一層速率及離子源參數(shù) b910Z?B^L

ouyuu

2023-04-08 00:25

1，注意一下清洗，必要手擦幾片做比較。
2，鍍膜前用離子源清洗，用質(zhì)量大的Ar，多打一陣子。
3，基板如果是玻璃就加到150度以上，
如果是塑膠，用鹵素?zé)艏訜幔ú灰眉訜峤z）

其他的上面的都講過(guò)了，其實(shí)工藝參數(shù)很重要。
如果是塑膠片，加熱很重要

jimmy_	2024-02-19 17:21
請(qǐng)教一下為什么加熱不能用加熱絲，光馳機(jī)里好像沒(méi)有鹵素?zé)?

ouyuu

2024-02-20 20:44

jimmy_:請(qǐng)教一下為什么加熱不能用加熱絲，光馳機(jī)里好像沒(méi)有鹵素?zé)?span style="color:gray "> (2024-02-19 17:21) hU 7fZl%yl

因?yàn)樗苣z片導(dǎo)熱不行。
加熱絲最初加熱的是片子背面，熱量靠傳導(dǎo)再到鍍膜面，
一個(gè)是升溫慢，一個(gè)是均勻性差。
而鹵素?zé)粽丈涞氖清兡っ�，升溫�?huì)比較快，而且溫度的均勻度也好。
加熱快的，吸收的水氣出來(lái)的也多

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低溫TI3O5 SIO2。RF輔助鍍膜。膜強(qiáng)度差。什么原因造成？