SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計第二十四課：帶楔塊誤差的校驗和圖像誤差的AI分析的公差實例
這是一個高級的課程，它展示了SYNOPSYS™中的一些不尋常的功能。本課程將介紹前面討論的一些功能，并添加一些功能強大的新選項。在這里，我們將使用BTOL來計算八片式透鏡的公差，然后查看通過校驗單元格中的元件來補償楔形誤差的情況下的像質(zhì)統(tǒng)計。最后，我們將在重新對焦鏡頭和校驗元件之后，檢查一組100個鏡頭的橫向色差的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，這些鏡頭受公差限制。 k/]4L!/ T
這是一個MACro，它將創(chuàng)建公差預(yù)算： r>Rm=eKJ
\ #O}K
XjINRC8^4
B;=-h(E}vJ
FETCH X33 ! 拿出開始的鏡頭 9Impp5`/B
BTOL 90 ! 要求達到90%的置信度 YOE!+MiO
TPR ALL ! 所有的表面都與試驗板相匹配。. 6L}}3b h
EXACT ALL INDEX ! 假設(shè)收到所有熔體數(shù)據(jù)。 7 S 6@[-E
EXACT ALL VNO ! 所以指數(shù)和色散的公差為零. `j)S7KN
TOL WAF .18 .32 .18 ! 要求在三個視場點上的這個波前方差. !e E;MaS>
FOCUS REAL ! 聚焦軸上圖像點 W _JGJV.^f
ADJUST 14 TH 100 ! 厚度為14（最后一個空域）的情況下. bjCO@t
PREP MC ! 準(zhǔn)備好蒙特卡洛評估的輸入數(shù)據(jù). TP R$oO2
GO ! 開始BTOL. ]~!?(d!J/
在SYNOPSYS™中打開名為X33.RLE的文件，我們使用FETCH命令將其取出。 gR\-%<42
運行此MACro時，BTOL公差已準(zhǔn)備好并列在探測器上。現(xiàn)在我們需要使用MC。 調(diào)整MACro由BTOL準(zhǔn)備，命名為MCFILE.MAC。讓我們看看它包含什么。 我們輸入LM MCFILE來加載MACro： @B#\3WNt
ExKjH*gn
PANT O~~W P*N
VY 14 TH
BWG*UjP
M
END .,+TpP kc
AANT Md[M}d8
M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 .1 0.000 hw9qnSeRy
M 0.297888E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 .1 0.000 OPe3p {]
M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 -.1 0.000 aTL
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