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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 透過率高低不一致的問題 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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與日月兮齊光	2023-08-10 13:47
透過率高低不一致的問題在8寸的硅晶圓上做一個中遠(yuǎn)紅外長波通，平面行星盤，用Te和ZnS兩種材料，都用阻蒸蒸發(fā)，不用離子源輔助鍍膜，為什么同一片測出來透過率高低差異會這么大，而且每次透過率高低分布的規(guī)律都不一樣 l];w,(u{ <pyLWmO [attachment=119500]

ouyuu	2023-08-13 20:08
阻蒸的速率不穩(wěn)定吧？用晶控控制的速率還是直接電流控制？

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