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xzaxd 2023-10-24 17:03

RF源暖機時間問題請教

請教各位大佬: 5I wX\  
1、RF源最少暖機時間設(shè)置多少合適?source和beam B6^w{eXN  
2、暖機時間少了或者不暖機,會不會直接導致離子源容易滅弧,影響機理是什么?
大劍宿意琦行 2023-10-24 21:35
一般不是兩分鐘嗎?容易滅弧是因為臟,沒保養(yǎng)到位罷了。
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