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光行天下 -> 光學(xué)設(shè)計(jì)及經(jīng)驗(yàn) -> 光刻照明系統(tǒng)中復(fù)眼透鏡的設(shè)計(jì)及公差分析 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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gangzi0801

2023-11-24 12:23

光刻照明系統(tǒng)中復(fù)眼透鏡的設(shè)計(jì)及公差分析

在超大規(guī)模集成電路中，為了實(shí)現(xiàn)NA=135，波長(zhǎng)193nm處分辨率達(dá)到 45nm的目標(biāo)，需要對(duì)影響光刻照明均勻性的誤差源進(jìn)行詳細(xì)分析最終確定公差范圍。復(fù)眼透鏡是使光束在系統(tǒng)掩膜面上形成矩形均勻照明區(qū)域的關(guān)鍵元件。采用CODEV軟件設(shè)計(jì)了復(fù)眼透鏡對(duì)引起照明不均勻性的因素進(jìn)行分析，結(jié)合復(fù)眼透鏡組的設(shè)計(jì)方案和實(shí)際加工能力，給出X和Y向復(fù)眼曲率公差為±10%，后組曲率公差為±5%，前后組間隔公差為±50μｍ，位置精度偏心公差為±1μｍ，裝配精度公差為±3μｍ。制定公差合理、可行，滿足了浸沒式光刻照明系統(tǒng)高均勻性、高能量利用率的要求。

xpwj	2023-11-24 22:52
這個(gè)沒接觸過，下來(lái)看看

譚健	2023-11-25 13:08
下來(lái)看看

dxawlll	2023-11-25 14:38
學(xué)習(xí)一下

albert.qian	2023-11-26 15:55
學(xué)習(xí)，感謝分享。

songshaoman	2023-11-27 08:32
能用zemax分析么？

mang2004	2023-11-27 09:08
學(xué)習(xí)，謝謝分享

krafe	2023-11-27 12:28
感謝分享

444198029	2023-11-28 11:57
謝謝分享，學(xué)習(xí)一下

譚健	2023-11-28 13:23
下來(lái)看看

daoyeer	2023-11-29 10:49
學(xué)習(xí)一下 n8F~!\|lQ0

caiganyuhhh	2023-11-29 14:08
學(xué)習(xí)一下

莫名其妙331	2023-11-29 17:22
這個(gè)沒接觸過，下來(lái)看看

sincerels	2023-11-30 12:43
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí) Go)g}#.&

何曉龍	2023-11-30 14:10
這個(gè)沒接觸過，下來(lái)看看

niusir	2023-12-01 09:27
學(xué)習(xí)，感謝分享

泡泡王	2023-12-07 13:51
謝謝分享

lucky_yu	2023-12-07 15:28
學(xué)習(xí)一下，

哈哈季	2023-12-08 13:15
感謝分享 o^vX\a?`u

hale1987	2023-12-09 09:42
下來(lái)看看

yuxiaohu	2023-12-13 08:38
參考一下

譚健	2023-12-17 19:21
這些主要針對(duì)非成像光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)及應(yīng)用吧？ -1,0hmn=+

qinzyong	2023-12-18 07:29
仔細(xì)學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)，謝謝樓主分享！

yangpeipei	2023-12-18 14:07
看看，沒設(shè)計(jì)過

ninesunzq	2023-12-28 11:20
感謝分享

涼開水	2024-01-03 11:15
學(xué)習(xí)，感謝分享。

opmeman	2024-01-05 10:23
下載下來(lái)看看

努力學(xué)習(xí)光學(xué)	2024-01-10 13:45
學(xué)習(xí)一下

peanut	2024-01-15 13:06
學(xué)習(xí)一下 ^sD M>OHp

byron77	2024-01-15 13:59
光刻知識(shí)，學(xué)習(xí)一下

lillman	2024-01-18 15:26
這個(gè)沒接觸過，下來(lái)看看

北極星的天空	2024-01-26 09:46
看一看

北極星的天空	2024-01-26 10:14
這種公差分析，用用照明軟件Lighttools仿真會(huì)更好一些吧

天藍(lán)色3230	2024-01-26 23:31
謝謝分享。

王教主	2024-02-02 10:53
學(xué)習(xí)一下，下來(lái)看看

遠(yuǎn)辰	2024-03-19 21:14
謝謝大佬分享

ioash	2024-03-22 11:53
codev建模微鏡陣列學(xué)習(xí)一下

hanxy	2024-06-27 09:29
需求，感謝 +gX,r$bX

yzc2ljn	2024-07-01 03:21
看起來(lái)很厲害的樣子

不懂想問	2024-07-03 13:47
感謝，辛苦

麒麟飛火	2024-07-03 16:53
如何實(shí)現(xiàn)！

willh	2024-07-05 15:08
瑕再學(xué)習(xí)

lengyummm	2024-08-08 14:53
積分透鏡，應(yīng)用比較廣了

香格里拉	2024-08-19 21:15
多謝分享

瑪露黛兒	2024-08-26 10:07
學(xué)習(xí)一下復(fù)眼透鏡公差怎么加，

yexiaowei12322	2024-09-13 14:46
好資源

snowrun	2024-12-11 09:33
謝謝分享，學(xué)習(xí)一下

raja	2025-01-08 19:40
了解下復(fù)眼勻光的應(yīng)用

light0425	2025-01-17 01:15
謝謝坂大分享

旺旺雪餅	2025-01-18 12:57
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

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