近日，中國科大微電子學(xué)院石媛媛教授課題組設(shè)計并實現(xiàn)了一種直接在硅片上制造大規(guī)模單層(Monolayer, ML)單晶MoS2高性能晶體管陣列的集成方法，相關(guān)研究成果成功入選2024 Symposium on VLSI Technology and Circuits（以下簡稱VLSI Symposium）。 4C