摘要 DU/WB Z6I^HG{: 可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設置光柵系統、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數運行結合使用，可以在給定的參數空間上進行掃描，以研究指定結構在不同配置下的性能。 2qD80W<1 o {bwWk7v6 U`fxe`nVa 傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） .oFkx*Ln &\, ZtaB 建模任務 'rw n Ar $pm5G} . t K+ K lz Zn`vL52_ 單次FMM仿真結果 3tlA! e LL1HDG >l c`(]
