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全場(chǎng)光學(xué)相干掃描干涉儀
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infotek
2024-07-22 08:32
全場(chǎng)光學(xué)相干掃描干涉儀
摘要
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測(cè)量的技術(shù)。 通過(guò)利用白光光源的低相干性,僅當(dāng)光程長(zhǎng)度差在相干長(zhǎng)度內(nèi)時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 因此,它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測(cè)量。在本案例中,氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測(cè)量表面平滑變化的樣品。
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建模任務(wù)
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仿真干涉條紋
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走進(jìn)VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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•設(shè)置輸入場(chǎng)
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−基本光源模型[教程視頻]
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•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓
A"PmoV?lAm
•定義元件的位置和方向
X61p xPa
− LPD II:位置和方向[教程視頻]
CdFr YL+F
•正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡
6%8,OOS
−非序列追跡的通道設(shè)置[用例]
1|8<!Hx#-
•使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化
XSDudL
−參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例]
DFUW^0N
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VirtualLab Fusion技術(shù)
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