| 小火龍果 |
2024-07-24 10:04 |
SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計軟件課程七十七：紫外光刻鏡頭設(shè)計
一.光刻技術(shù)簡介 BPWnck=%
光刻是在集成電路制造過程中非常重要的步驟，是制造芯片的核心設(shè)備。 pAg$oe#
芯片的復(fù)雜細微三維結(jié)構(gòu)就是通過光刻機把掩膜的圖形轉(zhuǎn)印到光刻膠上，再通過刻蝕工藝轉(zhuǎn)移到硅片上。 a `38db(z
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