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infotek 2024-07-25 07:56

傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析

摘要 (x,w/1  
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對于許多應用來說(例如背光、光學連接器和近眼顯示),如何將光高效地耦合到波導結(jié)構中是一個重要的問題。對于這些應用,傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中,介紹了使用嚴格的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于給定的方向級次,優(yōu)化的光柵展示出超過90%的衍射效率。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 <Ur(< WTV  
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設計任務 CK[2duf^~  
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1級參數(shù)優(yōu)化 X.<_TBos|  
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結(jié)果-容差分析 HH+R47%*  
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VirtualLab Fusion一瞥 )3v0ex@Jl  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 <b"ynoM.A  
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構建光柵結(jié)構 i.2O~30ST  
−使用特殊材料的光柵結(jié)構設定[用例] FV^CSaN[R  
−傾斜光柵高級設定[用例] K6=-Zf  
•光柵衍射效率分析 R-]QU`c  
−光柵階序分析器[用例] %Q"zU9  
•使用參數(shù)優(yōu)化進行光柵參數(shù)優(yōu)化 2{c ;ELq  
•使用參數(shù)運行的容差分析 ^qqP):0y1V  
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VirtualLab Fusion技術