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傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析
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infotek
2024-07-25 07:56
傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析
摘要
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對于許多應用來說(例如背光、光學連接器和近眼顯示),如何將光高效地耦合到波導結(jié)構中是一個重要的問題。對于這些應用,傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中,介紹了使用嚴格的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于給定的方向級次,優(yōu)化的光柵展示出超過90%的衍射效率。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
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設計任務
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1級參數(shù)優(yōu)化
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結(jié)果-容差分析
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結(jié)果-容差分析
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VirtualLab Fusion一瞥
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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構建光柵結(jié)構
i.2O~30ST
−使用特殊材料的光柵結(jié)構設定[用例]
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−傾斜光柵高級設定[用例]
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•光柵衍射效率分析
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−光柵階序分析器[用例]
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•使用參數(shù)優(yōu)化進行光柵參數(shù)優(yōu)化
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•使用參數(shù)運行的容差分析
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VirtualLab Fusion技術