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2024-07-29 08:01 |
分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦
摘要 MX)mm^A dWK"Tkf\ 高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過(guò)光場(chǎng)追跡,可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 mNk@WY_F 2P(6R.8;6
o0}kRL bCL/"OB 建模任務(wù) Svl;Ul nd#owjB
nQaryL kIwq%c; 入射平面波 vXLGdv:: 波長(zhǎng) 2.08 nm r>;(\_@ 光斑直徑: 3mm 9pMXjsE 沿x方向線偏振 _X]\#^UiO2 T jrz_o) 如何進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的光線追跡分析? "969F(S$ 如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布? F(DM$5z[
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