上海光機(jī)所在光學(xué)元件多表面面形測(cè)量方面取得進(jìn)展

近期，中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光元件技術(shù)與工程部在光學(xué)元件多表面面形測(cè)量研究方面取得新進(jìn)展，相關(guān)成果以“Surface profile measurement of transparent parallel plates by multi-scale analysis phase-shifting interferometry (MAPSI)”為題發(fā)表于Optics and Lasers in Engineering。 }I1j