| 中科微星 |
2024-09-20 13:56 |
相位型SLM硬件產(chǎn)品面型性能提升
背景介紹 X
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作為一種動態(tài)可編程光學元件，液晶空間光調(diào)制器（LC-SLM）在波前整形和光束控制等精密光學調(diào)控應用中發(fā)揮著非常重要的作用。典型的純相位SLM工作原理是通過加載的電壓控制在每個液晶像素處誘導相位延遲，實現(xiàn)對入射光波波前的調(diào)控。 '6Lw<#It
隨著光場調(diào)控技術朝著精細化方向發(fā)展，對相位型LC-SLM的調(diào)制精度提出了更高的要求。如：在超快智能加工領域需求相位型SLM實現(xiàn)高相位調(diào)制精度的波前精細調(diào)控；在顯微成像領域需求相位型SLM實現(xiàn)高信噪比、高分辨率的成像；在無接觸光學微操縱領域需求相位型SLM實現(xiàn)高精度、高效的微粒捕獲等。然而, 通常商用SLM會出現(xiàn)相位失真，導致LCOS器件在波前控制實際應用中存在諸多問題：如光利用效率低、調(diào)制精度差，最終無法實現(xiàn)相應的功能。追其本源，相位失真主要由SLM物理結構和環(huán)境條件的相位調(diào)制非線性和不均勻性引起，具體可歸因于兩個因素： 6_KO6O7g
1） 施加在液晶（LC）上的錯誤驅(qū)動電信號；[attachment=130239] hfUN~89;
圖1 動態(tài)調(diào)制LUT調(diào)制誤差 <Lz/J-w
2） SLM襯底或背板曲率和LC層厚度不均勻引起的畸變； %Z T@&
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