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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 如何降低薄膜吸收？ [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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guji2015	2024-10-16 11:26
如何降低薄膜吸收？做的一個氧化鉿單層的材料實驗，開了離子源輔助，鍍出來發(fā)現(xiàn)膜層吸收較大。請教一下各位大佬，為降低吸收，工藝該從那些方面調(diào)整？ h^A3 0f_x {;&B^uz ] [attachment=130433] JS/M~8+Et

度魔銀	2024-10-16 14:58
1.溫度是不是300度，離子源充氧過大也會吸收

度魔銀	2024-10-16 15:10
離子源清洗，不開源鍍，基板加溫300℃-350℃，恒溫一小時鍍膜，材料充氧10sccm,此參數(shù)僅供參考

度魔銀	2024-10-16 15:12
補充一下，速率控制在2.0A/左右

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如何降低薄膜吸收？