三星“激光結晶化裝置”專利公布
近日,據(jù)國家知識產(chǎn)權局信息顯示,三星顯示有限公司申請一項名為“激光結晶化裝置”的專利,公開號 CN 118841313 A,申請日期為 2023 年 10 月。 uw>O|&! 專利摘要顯示,激光結晶化裝置包括:光源部,產(chǎn)生激光束;第一窗體,與光源部隔開,并使激光束透射;光束切割器,配置于第一窗體 的下方,并阻斷透射第一窗體 的激光束的一部分;腔室,配置于光束切割器的下方;光束檢測部,配置于腔室的內(nèi)部;第一鏡,配置于光束切割器的表面,并反射激光束;第二鏡,配置于光束檢測部上,并反射激光束;以及光束收集器,與第一窗體 在第一方向上隔開,并消散反射的激光束。
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