光學(xué)測量系統(tǒng)的分析與公差

VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)光學(xué)測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。 >b.^kc  
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很多光學(xué)測量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有： Z
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 干涉儀 ~np,_yI  
 光譜儀&單色儀 rNl.7O9b  
 表面計(jì)量系統(tǒng) u z\0cX_  
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VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)這些測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場追跡引擎進(jìn)行快速精確的測量系統(tǒng)建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 n,O5".aa<  
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VirtualLab Fusion軟件的特性： 2-0$FQ@/  

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 基于物理光學(xué)的計(jì)量系統(tǒng)仿真 y/c%+Ca/  
 包含部分相干和衍射效應(yīng) Pgp {$ID  
 尤其對(duì)傾斜和偏移的公差分析 Qju`e Eo  
 真彩色獲取 N{d@^Yj  
 便于使用的位置概念 +'