方形晶胞

^ M4-O~   這是一個(gè)簡(jiǎn)單的二維光柵的案例，它有兩個(gè)周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個(gè)位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形結(jié)構(gòu))、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 qW6}^aa   kbkq .f Yr   光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度 S偏振光照明的場(chǎng)矢量 f:-dw6a=s   P偏振光照明的場(chǎng)矢量 t,yzqn   Z*r A~`@K6   后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。 `e!hT@Xxa   ?hQ,'M2