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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 磁控濺射中，磁場該如何做最好的配置 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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sorry6741	2007-05-27 15:52
磁控濺射中，磁場該如何做最好的配置磁控濺射中，磁場該如何做最好的配置，因為我廠的靶材使用時，靶材利用率很差，靠近裡面打的厚、外圍就打的薄，請問到底磁鐵在配置時該如何做最佳配置，是否要研究磁力線分佈

荷塘月色	2007-07-02 21:52
此情況是屬在非平衡磁場的基礎(chǔ)上嚴(yán)重磁力分布不均。而且濺射靶材不宜過厚。

msgt	2007-07-11 17:59
不是很明白

sorry6741	2007-07-11 23:34
濺射靶材為何不宜過厚啊

韓成錫

2007-07-12 15:24

非平衡磁控濺射的磁場本身就是不對稱分布，不管如何調(diào)整總會有一個有效濺射面積問題。由于磁場磁力線的分布，受到轟擊最充分的位置是在距離中心和邊緣均有一定距離的環(huán)形面上；把磁力線調(diào)整到能夠覆蓋靶面更大范圍可以提高一些靶材利用率，但效果有限。

靶材厚度不宜做的太厚。因為磁場分布的原因，濺射一段時間后靶面會形成一個環(huán)形凹槽，靶做的越厚利用率就越低（除去環(huán)形部分被濺射掉，中心部分和邊緣部分剩下的越多，浪費越嚴(yán)重）

fineday36	2009-05-06 21:53
我也遇到此類問題,調(diào)整磁鐵相對于靶面的距離,來調(diào)整磁力線,可以改良這種情況

liulianrui	2009-06-02 16:00
最好用專業(yè)的軟件來設(shè)計磁場分布，以確定磁鋼的大小、強度、位置和靶材的尺寸。我公司專業(yè)制造磁控濺射靶，材料利用率高，濺射穩(wěn)定。有問題可以直接聯(lián)系我，我們相互切磋dzmr.liu@126.com

bislarge	2009-06-03 23:05
我也知道怎么解決這個問題

bislarge	2009-06-03 23:07
可聯(lián)系，，czbvacuum@163.com

玻璃人	2009-09-08 14:52
學(xué)習(xí)了�。�！

huangchian	2009-10-03 11:21
回答的大俠說得很有道理頂一個

朱小朱	2010-10-22 14:34
學(xué)習(xí)了 Qf@ha

09njtpw	2010-10-24 16:05
貌似靶材的利用率都不高的，混合材料的靶的確不應(yīng)該做得太厚的

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磁控濺射中，磁場該如何做最好的配置

磁控濺射中，磁場該如何做最好的配置