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光行天下 -> 激光與光通信技術 -> 去下載《紫外激光切割Si片的實驗研究》 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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不是大人物

2007-06-15 11:27

去下載《紫外激光切割Si片的實驗研究》

紫外激光切割Si片的實驗研究，樓祺洪章琳葉震寰董景星魏運榮

中國科學院上海光學精密機械研究所

摘要：報道了用193nm準分子激光切割硅片的實驗結果。采用柱透鏡光學系統(tǒng)及“熱劈裂法”獲得小于15μm的切縫及小于5μm的切面不平整度。

關鍵詞：紫外激光；激光切割；硅片

Myoptics	2007-06-17 15:42
多謝啦，不錯的論文。

6172007	2007-06-17 17:06
謝謝啦，下了。

518918	2007-06-17 23:50
收下了，多謝。

wayguo	2009-08-05 14:26
多謝啦，不錯的論文。

111	2009-08-13 13:46
收下了，多謝。

xieyifeng	2010-05-04 15:45
fghfghfhfghfh

lw890720	2010-07-02 14:10
多謝樓主

khwonthy	2010-07-18 10:24
謝謝樓主。想學習一下。

唐亮	2010-07-20 20:20
多謝樓主

jerrywang	2010-09-09 16:53
duo xie le

chis	2010-09-16 18:52
謝謝！

martin605	2010-09-19 14:19
謝謝樓主分享--下載看看�。�！

wildcat	2010-10-11 13:03
Interesting article

dahai	2010-10-11 13:47
感謝樓主！

wy6688	2010-12-16 11:05
好東西

朱艷玲	2011-06-28 11:18
我也想要

zhckz949	2012-04-16 13:02
好東西哇

liu89060	2012-04-27 22:19
看看先~ 先下載

嗱嘚起放嘚嚇	2012-04-28 14:47
好東西

daipengcq	2012-04-30 19:32
我正在看。

titanlizard	2013-08-14 09:43
支持一個·············

blue_maple	2013-08-22 16:47
看下先~

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