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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 橢偏儀和臺(tái)階儀測(cè)薄膜厚度的問(wèn)題 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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小英子	2007-12-10 11:26
橢偏儀和臺(tái)階儀測(cè)薄膜厚度的問(wèn)題請(qǐng)教一下：我用橢偏儀和臺(tái)階儀分別測(cè)了一下薄膜的厚度，結(jié)果至少差了有200nm，請(qǐng)問(wèn)一下哪一個(gè)測(cè)量的更準(zhǔn)確呢！謝謝大家！

ccc502	2007-12-10 19:55
后者更精確

oneday1979	2009-01-02 19:00
我也想知道

whuai	2009-02-28 11:08
請(qǐng)分享

timberwolf	2009-03-25 10:54
如果操作無(wú)誤，我相信臺(tái)階儀

wuya02109	2009-08-07 19:54
如果是測(cè)厚度這一項(xiàng)的話，還是臺(tái)階儀更準(zhǔn)些。

hp1965	2009-10-03 09:00
薄膜的總厚度是多少？哪一個(gè)測(cè)量的更準(zhǔn)確與你關(guān)心的是光學(xué)厚度或幾何厚度有關(guān)！

myjoy88	2010-02-02 15:03
當(dāng)然是橢偏儀更準(zhǔn)，因?yàn)闇y(cè)試的結(jié)果可以和理論值比較 eT[,k[#q

uantel	2011-04-06 15:33
準(zhǔn)確的講，是后者準(zhǔn)確，臺(tái)階儀是接觸式測(cè)量

yurongjun228	2011-04-06 23:31
能提供下載資料嗎

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