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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 請教鍍膜中碰到的問題 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

shuangzixing 2005-12-19 12:20

請教鍍膜中碰到的問題

前幾天在鍍可見區(qū)增透膜時(shí),在鍍的時(shí)候沒發(fā)現(xiàn)異常情況可出罩時(shí)發(fā)現(xiàn)在基片上有很小的亮點(diǎn).不是膜點(diǎn).不能擦掉.做了3罩每罩都有一快.請老師判斷.材料是氧化鋯.氧化硅.氟化鎂
flyinlove79 2005-12-19 17:14
如果基底確實(shí)處理干凈了 ~ ^rey  
就看預(yù)熔材料的時(shí)候，擋板有沒有擋住 lTV@b&  
氟化鎂除氣有沒有徹底，這個(gè)材料容易上點(diǎn)子 8Fd1;G6  
材料在蒸發(fā)的時(shí)候有沒有速率過快
shuangzixing 2005-12-20 17:48
老師：這幾點(diǎn)我都注意了。象這種膜系我們經(jīng)常做，就這幾罩有這現(xiàn)象。謝謝
birdy 2005-12-20 18:01
如果真空室臟了的話，也回出現(xiàn)這種情況的
flyinlove79 2005-12-21 17:56
如果每罩只有幾塊的話，估計(jì)不是玻璃沒有處理好，就是材料發(fā)生嘣濺，特別是MgF2材料，預(yù)熔不好的話就容易發(fā)生嘣濺。
shuangzixing 2005-12-22 18:02
謝謝老師提醒,這幾天我把真空室打掃了.沒發(fā)現(xiàn)這情況了
ljq2007 2010-05-13 10:48
mgf2膜料噴點(diǎn)
shenbin 2010-05-13 11:54
MGF2的速率一只很穩(wěn)定的嗎你們公司？計(jì)算機(jī)上的速率曲線是一條很直的線嗎？ |&elZ}8  
我們公司的好象那條曲線不是很直啊
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