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光行天下 -> 光學薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 為何磁控濺鍍機的磁鐵都放在靶材的下面？ [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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d9272816	2008-06-05 15:25
為何磁控濺鍍機的磁鐵都放在靶材的下面？ 1.為何磁控濺鍍機的磁鐵都放在靶材的下面 "#Rh\DQ 2.可能跟第一個問題有關(guān)，為何靶材都是圓形的

liwenjuan	2008-06-11 11:10
放在下邊可以很方便安裝呀，并且磁場也很有效利用。 LrB 0x> 感覺大型濺射設(shè)備都是矩形的，呵呵

chongqigeg	2008-06-20 10:50
靶材有矩形的阿

知識乞丐	2016-09-25 11:19
平面靶圓柱靶 [!'+}

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為何磁控濺鍍機的磁鐵都放在靶材的下面？