| andy0627 |
2008-06-26 14:54 |
金屬薄膜之制作
實(shí)驗(yàn)2 金屬薄膜之制作 r_Pi)MPc
一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?span style="display:none"> 'On%p|s)H
學(xué)習(xí)利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)制作金屬薄膜。 !)EYM&:Y
1．了解真空技術(shù)的基本知識； 4@9xq<<5
2．掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法； =<r1sqf
3．了解真空鍍膜的基本知識； +o K*5 Y
4．學(xué)習(xí)掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法． {Ok]$ 0L
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二、實(shí)驗(yàn)原理 TV?MB(mN
鍍膜技術(shù)有很多種，但大體上可分為利用液體及氣體成膜兩種方法，前者大多涉及化學(xué)變化，后者皆有些是利用化學(xué)作用，有些則是屬于物理作用。如圖(1)所述： 8)YDUE%VH
圖(1) 真空鍍膜方法 w u0q.]
本教材的重點(diǎn)在于物理氣相沈積的熱蒸發(fā)蒸鍍法及電漿濺鍍法，原理及制程將會(huì)詳述內(nèi)文。同學(xué)們?nèi)魧ζ渌兡し椒ㄓ信d趣請自行查閱書籍、網(wǎng)絡(luò)等數(shù)據(jù)。 +-Z `v
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