| xujia008 |
2008-07-01 21:51 |
基于X-Ray LIGA工藝的三維針狀結(jié)構(gòu)的多種制造方法
MEMS的課程論文，寫(xiě)得比較認(rèn)真，希望對(duì)大家有用^_^ 傳上來(lái)掙點(diǎn)分…… .yd{7Te
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本文主要對(duì)具有代表性的三維結(jié)構(gòu)——針形陣列的多種制造工藝作出介紹。包括： nxA Y]Q
1、移動(dòng)掩模深X射線光刻（Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL）技術(shù) o5-oQ_ j
2、改變X射線入射方向的二次曝光方法
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