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lsnanjing

2008-08-12 21:38

離子源問題的討論，歡迎達(dá)人進(jìn)入

眾所周知 ,在薄膜沉積的同時 ,輔助以具有一定能量的定向離子束的轟擊 ,可以大大地改善薄膜的性能。
它不僅可以顯著增強膜基與膜層間的結(jié)合。而且可以起到增加存儲密度 ,消除柱狀晶 ,提高膜的致密度的作用。
我在這里想要和大家討論的是：離子源可以改變膜層的折射率，那么可以不同的能量可以改變它的厚度嗎？？？？

syw1984	2008-08-23 11:01
這好像不行啊，要厚就是整體的都厚了

ken_jinyan1	2013-06-07 15:45
薄膜的折射率變了，再用TFC設(shè)計不就不準(zhǔn)了嗎

yangyangyang	2014-06-25 17:02
不可以改變厚度

gaofei5588	2017-11-24 12:14
離子源和晶控或光控是單獨體，改變離子源beam，會改變折射率，厚度肯定會發(fā)生變化。 ?WQd

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