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磁控濺射靶源特性研究
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leilinna
2008-11-20 21:04
磁控濺射靶源特性研究
內(nèi)容介紹：設(shè)計制作了方便實用的圓形直流平面磁控濺射靶源! 測量了鋁靶面上的磁場分布"給出了靶電壓和靶電流隨氬氣壓的變化曲線!
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