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csk9818 2009-05-23 22:04

晶片結(jié)構(gòu)原理

針對倒裝芯片(Flipchip)大功率發(fā)光二極管器件,描述了大功率領(lǐng)導(dǎo)器件的熱阻特性,建立了Flipchip襯底粘接材料的厚度和熱導(dǎo)系數(shù)與粘接材料熱阻的關(guān)系曲線,以三類典型粘接材料為例計算了不同厚度下的熱阻,得出了Flipchip襯底粘接材料選擇的不同對大功率領(lǐng)導(dǎo)的熱阻存在較大影響的結(jié)論。 <-0]i_4sK  
?關(guān)鍵詞:  S[QrS 7  
倒裝芯片;粘接材料;?大功率領(lǐng)導(dǎo);?熱阻? (iGTACoF  
中圖分類號: B1Oq!k  
TN305.94;TN15?文獻標(biāo)識碼:A?文章編號:1003-353X(2005)06-0049-03?1? |&jXp%4T  
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引言? 8r!zBKq2~  
1998年美國Lumileds?照明公司封裝出世界上第一個大功率領(lǐng)導(dǎo)(1W?LUXOEN?器件),使領(lǐng)導(dǎo)器件從以前的指示燈應(yīng)用變成可以替代傳統(tǒng)照明的新型固體光源,引發(fā)了人類歷史上繼白熾燈發(fā)明以來的又一場照明革命。1W?LUXOEN器件使領(lǐng)導(dǎo)的功率從幾十毫瓦一躍超過1000毫瓦,單個器件的光通量也從不到1個?lm飛躍達到十幾個lm。大功率領(lǐng)導(dǎo)由于芯片的功率密度很高,器件的設(shè)計者和制造者必須在結(jié)構(gòu)和材料等方面對器件的熱系統(tǒng)進行優(yōu)化設(shè)計。?目前GaN基外延襯底材料有兩大類[1]?:一類是以日本“日亞化學(xué)”為代表的藍(lán)寶石;一類是美國CREE公司為代表的原文如此襯底。傳統(tǒng)的藍(lán)寶石襯底GaN芯片結(jié)構(gòu)如圖1所示,電極剛好位于芯片的出光面。在這種結(jié)構(gòu)中,小部分p-GaN層和“發(fā)光”層被刻蝕,以便與下面的n-GaN層形成電接觸。光從最上面的p-GaN層取出。p-GaN層有限的電導(dǎo)率要求在p-GaN層表面再沉淀一層電流擴散的金屬層。這個電流擴散層由Ni和Au組成,會吸收部分光,從而降低芯片的出光效率。為了減少發(fā)射光的吸收,電流擴展層的厚度應(yīng)減少到幾百納米。厚度的減少反過來又限制了電流擴散層在p-GaN層表面均勻和可靠地擴散大電流的能力。因此這種p型接觸結(jié)構(gòu)制約了LED芯片的工作功率。同時這種結(jié)構(gòu)pn結(jié)的熱量通過藍(lán)寶石襯底導(dǎo)出去,導(dǎo)熱路徑較長,由于藍(lán)寶石的熱導(dǎo)系數(shù)較金屬低(為35W/m•K),因此,這種結(jié)構(gòu)的LED芯片熱阻會較大。此外,這種結(jié)構(gòu)的p電極和引線也會擋住部分光線進入器件封裝,所以,這種正裝LED芯片的器件功率、出光效率和熱性能均不可能是最優(yōu)的。為了克服正裝芯片的這些不足,Lumileds Lighting公司發(fā)明了倒裝芯片(Flipchip)結(jié)構(gòu),如圖2所示。在這種結(jié)構(gòu)中,光從藍(lán)寶石襯底取出,不必從電流擴散層取出。由于不從電流擴散層取光,這樣不透光的電流擴散層可以加厚,增加Flipchip的電流密度。同時這種結(jié)構(gòu)還可以將pn結(jié)的熱量直接通過金屬凸點導(dǎo)給熱導(dǎo)系數(shù)高的硅襯底(為145W/m•K),散熱效果更優(yōu);而且在pn 結(jié)與p電極之間增加了一個反光層,又消除了電極和引線的擋光,因此這種結(jié)構(gòu)具有電、光、熱等方面最優(yōu)的特性。本文僅對藍(lán)寶石GaN倒裝芯片的襯底粘接材料對大功率LED器件熱特性的影響進行分析。 $]8Q(/mbK  
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2 基于Flipchip的大功率LED熱分析 j~QwV='S  
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我們知道,表征系統(tǒng)熱性能的一個主要參數(shù)是系統(tǒng)的熱阻。熱阻的定義為:在熱平衡的條件下,兩規(guī)定點(或區(qū)域)溫度差與產(chǎn)生這兩點溫度差的熱耗散功率之比。熱阻符號:Rθ或 Rth;熱阻單位:K/W或℃/ W一般倒裝型大功率LED表面貼裝到金屬線路板,也可以再安裝外部熱沉,增加散熱效果,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)以及外部應(yīng)用結(jié)構(gòu)如圖3所示[2,3]。 |D.ND%K&  
[1] [2] [下一頁] u2[w#   
功率LED芯片電極上焊接的數(shù)個BUMP(金球)與Si襯底上對應(yīng)的BUMP通過共晶焊接在一起,Si襯底通過粘接材料與器件內(nèi)部熱沉粘接在一起。為了有較好的取光效果,熱沉上制作有一個聚光杯,芯片安放在杯的中央,熱沉選用高導(dǎo)熱系數(shù)的金屬材料如銅或鋁。穩(wěn)態(tài)時LED熱阻的等效連接如圖4所示。根據(jù)熱阻的定義,可以得出 iyog`s c  
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3 襯底粘接材料對大功率LED熱特性的影響 LED倒裝芯片被粘在管座(器件內(nèi)部熱沉)里,可以通過三種方式:導(dǎo)熱膠粘貼、導(dǎo)電型銀漿粘貼和錫漿粘貼。導(dǎo)熱膠的硬化溫度一般低于150℃,甚至可以在室溫下固化,但導(dǎo)熱膠的熱導(dǎo)率較小,導(dǎo)熱特性較差。導(dǎo)電型銀漿粘貼的硬化溫度一般低于200℃,既有良好的熱導(dǎo)特性,又有較好的粘貼強度。錫漿粘貼的熱導(dǎo)特性是三種方式中最優(yōu)的,一般用于金屬之間焊接,導(dǎo)電性能也非常優(yōu)越。 在大功率LED器件的封裝中,生產(chǎn)廠家容易忽略襯底粘接材料對器件熱導(dǎo)特性的影響。其實襯底粘接材料在影響器件熱導(dǎo)特性因素中是一個比較重要的因素,如果處理不好,將使得LED的熱阻過大,導(dǎo)致在額定工作條件下器件的結(jié)溫過高,導(dǎo)致器件的出光效率下降、可靠性降低。設(shè)倒裝芯片襯底的橫截面積為 A(m2),粘接材料的熱導(dǎo)系數(shù)為λ(W/m•K),粘接材料的高度為h(m),則粘接材料的熱阻為 PxE3K-S)G  
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下面我們以臺灣國聯(lián)光電公司的Flipchip為例進行分析。國聯(lián)的芯片submount(襯底)是邊長為55mil的正方形,即A為1.96×10-6m2。我們來分析熱導(dǎo)系數(shù)為λ對粘貼材料熱阻的影響。當(dāng)h=20μm時,則 ~v"L!=~G;a  
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這三種情況的熱阻與熱導(dǎo)系數(shù)的關(guān)系曲線如圖5所示。從圖中可以看出,當(dāng)選用鉛錫焊料63Sn/37Pb,λ=39W/m•K,同時其厚度等于20μm 時,RθAttach等于0.026(K/W),即使其厚度為 100μm,RΘAttach也只等于0.131(K/W);當(dāng)選用熱沉粘接膠Ablefilm 5020K,λ=0.7W/m•K,同時其厚度等于20μm時, RΘAttach等于1.457(K/W),當(dāng)其厚度為100μm時, RΘAttach等于7.286(K/W);當(dāng)我們選用導(dǎo)電型芯片粘接膠 Ablebond 84-1LMISR4,λ=2.5W/m•K,同時其厚度等于20μm時,RΘAttach等于0.408(K/W),當(dāng)其厚度為100μm時, RΘAttach等于2.041(K/W)。因此,選用不同的粘接材料對其熱阻存在很大的影響,同時,在印刷或涂敷芯片粘接材料時,如何降低材料厚度也十分重要。 snikn&  
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4 結(jié)語 LED芯片結(jié)溫最高允許125℃,如果其最差工作環(huán)境溫度為65℃,則對一個1W的大功率LED來說,考慮到從大功率器件外部熱沉的熱阻一般為40 (K/W),器件pn結(jié)至器件的熱阻應(yīng)小于20(K/W)。而對一個5W的大功率LED來說,如果其最差工作環(huán)境溫度為65℃,則從pn結(jié)至環(huán)境的熱阻要小于12 K/W才能保證芯片結(jié)溫不超過125℃,而如果選用Ablefilm 5020K熱沉粘接膠,λ=0.7W/m•K同時其厚度為100μm,僅芯片粘貼材料的熱阻RΘAttach就等于7.286(K/W)。因此,在 Flipchip 大功率LED器件的封裝中,選用合適的芯片襯底粘貼材料并在批量生產(chǎn)工藝中保證粘貼厚度盡量小,對保證器件的可靠性和出光特性是十分重要的。 {}Za_(Y,]  
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