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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 單點(diǎn)模厚換算 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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dingjie

2009-07-30 14:13

單點(diǎn)模厚換算

想請(qǐng)教各位高手一個(gè)問(wèn)題，鍍1490中心波長(zhǎng)的單點(diǎn)增透膜SIO2、ZRO2、SIO2其中第一層是打底，它們的厚度分別是103.7——67.5——125納米做單位。我把厚度代入公式結(jié)果跟實(shí)際的相差很大。有哪位高手會(huì)算請(qǐng)把換算公式列出來(lái)并把厚度帶進(jìn)去，交流一下，好對(duì)比我錯(cuò)在哪里！

dingjie	2009-07-30 14:14
上面有錯(cuò)最后一層是325NM，不好意思！

yzhuang

2009-08-01 11:03

膜系是可以的,換算是沒(méi)有固定公式可言的,每臺(tái)機(jī)器都可能不一樣,需要你自己進(jìn)行修正,最簡(jiǎn)單的辦法就是鍍奇數(shù)個(gè)1/4中心波長(zhǎng)的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測(cè)量?jī)x器測(cè)出實(shí)際的中心波長(zhǎng),再用軟件模擬一下,實(shí)際厚度多少,實(shí)際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺(tái)機(jī)器的一個(gè)換算參數(shù)

0558	2009-10-03 11:55
先把TOOLING值找出

天命

2009-12-17 16:02

拉比熊	2013-01-14 20:20
就是先做單層膜

擺脫你的煩惱	2013-03-18 19:49
好東西。。。

scenery	2013-08-03 08:51
85P7I=`*d 得好好學(xué)學(xué)！�。�！

yuliang-518	2013-08-19 05:31
只能模擬對(duì)

503749868	2013-08-21 19:27
好好學(xué)習(xí)

rexchou	2016-04-21 17:27
差異在實(shí)際值與設(shè)計(jì)值之誤差值(tooling)。 @<5?q:9.8 !xm87I 算換單點(diǎn)膜厚套入公式，公式如下 R^Wed o7N3:) nd=1*中心波長(zhǎng)/4 (n=折射率、d=物理厚度、中心波長(zhǎng))。 I^pD=1Y] J+3PUfg>@R }xcEWC\ 75j`3wzu 來(lái)自臺(tái)灣澤米的SiO2王筆

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