| niugeasd |
2009-10-11 20:20 |
中遠(yuǎn)紅外光學(xué)薄膜膜層厚度監(jiān)控的誤差分析與監(jiān)控裝置的改進(jìn)
中遠(yuǎn)紅外光學(xué)薄膜膜層厚度監(jiān)控的誤差分析與監(jiān)控裝置的改進(jìn) \R Z3Hh
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本文主要闡述了光電極值法的基本原理和反射式膜厚控制裝置的誤差分析，并且對(duì)改進(jìn)后的膜厚控制裝置的實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了分析和討論。 F6&P
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