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dodgygeeze

2009-10-30 16:24

超難, 請指教. 關于面型

1. Mirror: Surface Accuracy 1/10 λ @ 632.8nm ,
2. Mirror: Wavefront error < λ /15 rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15
請問1/10 和 1/15 在這里是什么意思? 如果能告知原理, 更是感激不盡. Zernike Poly是波前誤差的什么多項式, 那么15指什么? 如果能簡明告知原理, 感激涕零.
我已經(jīng)被surface form, accuracy, figure, flatness, fringe, irregularity..... 完全
搞暈了. 似乎整個工廠都沒人懂, 不過zygo上面好像有這些數(shù)據(jù), 暈啊, 到底哪個是哪個啊.
請高人指點.

工光	2009-10-30 20:40
抱歉我不會

dodgygeeze	2009-10-31 10:27
沒有人會啊? 整個業(yè)界都沒有?

zj01211984	2009-11-05 23:57
是不是多項式最后的停止計算的誤差范圍啊？

ciomper

2009-11-10 21:05

（1）1/10 λ @ 632.8nm 指平面鏡的面形精度峰谷值為十分之一波長，相對He-Ne激光器的632.8nm 而言，ZYGO使用的就是這個波長的光源。再說明白點，相當于平面鏡最高點和最低點距離不超過63.28nm。
Surface Accuracy 指這片鏡子的面形精度，非要對應的話，此處相當于傳統(tǒng)的局部光圈ΔN=0.1
（2）Wavefront error < λ /15 rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15
Wavefront error指標準平面波經(jīng)平面鏡反射后的波前差大小。
使用少于15項的zernike多項式通過擬合波前，得到波前的均方根值優(yōu)于λ /15 （λ=1.315 μm）。此處波前跟反射鏡面形是二倍關系。
使用15項zernike多項式的意思是對低頻部分而言，忽略高頻。（擬合波前時使用的zernike多項式項數(shù)越多，可代表的表面起伏數(shù)目就越多，可參考相關資料）
一般對平面鏡而言，使用15項或者更多的項數(shù)，面形的均方根值不會有太多變化。

拈花獰笑	2009-11-12 09:41
樓上說的很詳細了，贊！

wmh1985	2019-03-25 13:28
樓主說的很詳盡��！

xiaoyu52152	2019-03-26 09:22
學習一下新知識

jiepang	2019-04-11 14:38
4樓已經(jīng)完美解答了

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