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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 霍爾離子源輔助 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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milkyway	2010-02-09 21:22
霍爾離子源輔助 +:/%3}` 本人剛剛買了一臺新的霍爾離子源，離子轟擊玻璃基片10分鐘，鍍膜后反而不牢，吸潮后膜層即脫落，不轟擊反而沒有問題。請達(dá)人幫我分析一下，那里出了問題，謝謝了

yangyangyang	2014-06-25 17:00
1,腔室潔凈度 &mM0AA'\?H 2，鍍膜區(qū)域潔凈度，溫度濕度過高或過低 +&H4m=D-#a 3，基材放置太久或受潮 8zq=N#x 4，轟擊時(shí)間太久 hOK8(U0 5，離子束流不夠

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