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991518 2010-05-20 13:49

原子力顯微鏡的原理及其運(yùn)用

一、原理 3G uH857ov  
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原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy, AFM)是由IBM 公司的Binnig與史丹佛大學(xué)的Quate 于一九八五年所發(fā)明的,其目的是為了使非導(dǎo)體也可以采用掃描探針顯微鏡(SPM)進(jìn)行觀測(cè)。 ^| /](  
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原子力顯微鏡(AFM)與掃描隧道顯微鏡(STM)最大的差別在于并非利用電子隧道效應(yīng),而是利用原子之間的范德華力(Van Der Waals Force)作用來呈現(xiàn)樣品的表面特性。假設(shè)兩個(gè)原子中,一個(gè)是在懸臂(cantilever)的探針尖端,另一個(gè)是在樣本的表面,它們之間的作用力會(huì)隨距離的改變而變化,其作用力與距離的關(guān)系如“圖1” 所示,當(dāng)原子與原子很接近時(shí),彼此電子云斥力的作用大于原子核與電子云之間的吸引力作用,所以整個(gè)合力表現(xiàn)為斥力的作用,反之若兩原子分開有一定距離時(shí),其電子云斥力的作用小于彼此原子核與電子云之間的吸引力作用,故整個(gè)合力表現(xiàn)為引力的作用。若以能量的角度來看,這種原子與原子之間的距離與彼此之間能量的大小也可從Lennard –Jones 的公式中到另一種印證。 ?Y:8eD"*  
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圖1、原子與原子之間的交互作用力因?yàn)楸舜酥g的距離的不同而不同,其之間的能量表示也會(huì)不同
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從公式中知道,當(dāng)r降低到某一程度時(shí)其能量為+E,也代表了在空間中兩個(gè)原子是相當(dāng)接近且能量為正值,若假設(shè)r增加到某一程度時(shí),其能量就會(huì)為-E 同時(shí)也說明了空間中兩個(gè)原子之距離相當(dāng)遠(yuǎn)的且能量為負(fù)值。不管從空間上去看兩個(gè)原子之間的距離與其所導(dǎo)致的吸引力和斥力或是從當(dāng)中能量的關(guān)系來看,原子力式顯微鏡就是利用原子之間那奇妙的關(guān)系來把原子樣子給呈現(xiàn)出來,讓微觀的世界不再神秘。 [Z~ 2  
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在原子力顯微鏡的系統(tǒng)中,是利用微小探針與待測(cè)物之間交互作用力,來呈現(xiàn)待測(cè)物的表面之物理特性。所以在原子力顯微鏡中也利用斥力與吸引力的方式發(fā)展出兩種操作模式: 8E4mA5@   
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(1)利用原子斥力的變化而產(chǎn)生表面輪廓為接觸式原子力顯微鏡(contact AFM ),探針與試片的距離約數(shù)個(gè)。 nK$X[KrV'  
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(2)利用原子吸引力的變化而產(chǎn)生表面輪廓為非接觸式原子力顯微鏡(non-contact AFM ),探針與試片的距離約數(shù)十個(gè)? 到數(shù)百個(gè)?。