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2010-06-10 00:27 |
非接觸式測(cè)量的分類及其原理
非接觸式測(cè)量根據(jù)測(cè)量原理的不同，有光學(xué)測(cè)量、超聲波測(cè)量、電磁波測(cè)量、紅外測(cè)量、攝影測(cè)量等方式。 |
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一、光學(xué)測(cè)量法可分為激光三角測(cè)量法、機(jī)器視覺(jué)法、莫爾輪廓法、相位測(cè)量輪廓法、掃描隧道顯微鏡( STM)法、光纖法、激光干涉法、激光掃描法等 。 /]U$ OP*0
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1.光學(xué)三角測(cè)量法 )O[8 D
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分為直射式光學(xué)三角法測(cè)量原理和斜射式光學(xué)三角法測(cè)量原理，按照測(cè)量方法可分為點(diǎn)光源入射、線光源入射和柵光源入射三種形式； wiN0|h>,
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2.莫爾輪廓法:是通過(guò)一塊基準(zhǔn)光柵來(lái)檢測(cè)輪廓面的影柵或像柵，并依據(jù)莫爾圖案分布規(guī)律推算出輪廓面形狀的全場(chǎng)測(cè)量方法。投射在三維輪廓面上的變形光柵，其光場(chǎng)分布函數(shù)可表示成空間相位調(diào)制信號(hào)，待測(cè)物體偏離參考平面時(shí)因影柵條紋位置變化而引起的空間相位改變量，待測(cè)物體的高度信息就包含在這一相位調(diào)制項(xiàng)中； "u BnK!
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3.相位測(cè)量輪廓法 +
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Satoru Toyooka和Tuuji Iwaasa在1986年提出了三維輪廓表面的空間相位檢測(cè)法。是用TV相機(jī)來(lái)采集物體上變形光柵圖像的灰度信息，然后由計(jì)算機(jī)按不同與FTP的規(guī)則進(jìn)行相位解調(diào)和高度計(jì)算，從而獲得需要點(diǎn)的坐標(biāo)； ( :bf m
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4.掃描隧道顯微鏡法 [Hx}#Kds
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利用量子理論中的隧道效應(yīng)，該掃描運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的作用是產(chǎn)生探針相對(duì)于樣品的三維掃描運(yùn)動(dòng)，其運(yùn)動(dòng)部件的直線性、正交性運(yùn)動(dòng)的重復(fù)性和穩(wěn)定性都達(dá)到了前所未有的高要求； uc,>VzdB
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5.光纖法 S|=)^$:
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光纖傳感器能實(shí)現(xiàn)“傳”和“感”的結(jié)合；體積小、質(zhì)量輕、抗電磁能力強(qiáng)、靈敏度高、易彎曲，可遠(yuǎn)距離觀察和遙測(cè)； LW<Lg N"L-
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6.激光干涉法 $ oW= N
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