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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 光刻機的薄膜 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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zhoufx	2011-01-22 19:45
光刻機的薄膜為什么光刻機中同時用到了增透膜和高反膜？分別是用到了哪部分？

zhenge88	2020-08-02 15:36
透鏡用增透膜，反射鏡用高反膜。

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