| cyqdesign |
2011-04-13 21:55 |
一種提高光柵尺測量精度的有效方法.PDF論文下載
一種提高光柵尺測量精度的有效方法：提出了采用多零位信號自動(dòng)消除大量程光柵尺計(jì)數(shù)累積誤差的方法，并通過在光柵尺的非零位處對計(jì)數(shù)值和清零次數(shù)的修改，解決了引入零位信號后光柵尺的絕對位移難以求取的問題，通過采用逐步檢測的方法判斷計(jì)數(shù)值是否被誤清零而出錯(cuò)，并根據(jù)出錯(cuò)前的計(jì)數(shù)值讓光柵尺通過最近的零位，自動(dòng)修正光柵尺的計(jì)數(shù)值。
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