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icetea522 2011-04-15 16:05

F-theta鏡設(shè)計(jì)問題

請(qǐng)教:1.F-THETA鏡設(shè)計(jì)時(shí)評(píng)價(jià)是以點(diǎn)列圖還是MTF曲線為準(zhǔn)? m#'u;GP]k  
           2.點(diǎn)列圖設(shè)計(jì)控制在什么范圍內(nèi),有要求嗎? <3ovCqa  
           3.我現(xiàn)在設(shè)計(jì)了兩種方案,第一種方案,點(diǎn)列圖和MTF曲線都很好,但是公差分析后彌散斑直徑中心視場為40um,邊緣視場最大到180um; L(AY)gB  
                                                    第二種方案,點(diǎn)列圖中心視場和邊緣視場都差不多,彌散斑直徑在100um左右,但是MTF曲線很差。 &