| virtuexu |
2011-04-22 22:38 |
《微光刻技術(shù)-發(fā)展歷程與展望》
自從1958年世界上出現(xiàn)第一塊平面集成電路開始算起，在短短的四十多年中，微電子技術(shù)以令世人震驚的速度突飛猛進地發(fā)展，創(chuàng)造了人間奇跡。作為微電子技術(shù)工藝基礎(chǔ)的微光刻技術(shù)是人類迄今為止所能達(dá)到的精度最高的加工技術(shù)。 5s].
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微光刻技術(shù)既偉大也很微小當(dāng)今世界各行各業(yè)都離不開信息科學(xué)信息科學(xué)離不開計算機技術(shù)計算機技術(shù)的發(fā)展離不開微電子技術(shù)微電子技術(shù)工藝基礎(chǔ)是微光刻技術(shù)微光刻技術(shù)一次又一次突破分辨率極限，使微電子技術(shù)得以創(chuàng)造了如此偉大的人間奇跡細(xì)細(xì)回味：幾十年來微光刻技術(shù)把微細(xì)加工尺寸從微米級推進到納米級，與在人類從宇宙太空到原子世界的整個研究探索領(lǐng)域相比，也只是微小的一段。 (I ./ Uu%
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