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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 什么是雙離子束濺射薄膜沉積，它有什么優(yōu)勢 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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opturn_yang	2011-05-14 22:27
什么是雙離子束濺射薄膜沉積，它有什么優(yōu)勢請教大家雙離子束濺射薄膜沉積的原理是什么啊，聽說離子束還能拋光，請大家賜教。 kgK7 T

wd94	2011-06-05 14:43
就是一個濺射一個輔助代表機型有VEECO

wd94	2011-06-05 14:45
優(yōu)點是膜層的致密性好點

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什么是雙離子束濺射薄膜沉積，它有什么優(yōu)勢