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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 阻抗問題討論 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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greenhaw	2011-06-29 19:34
阻抗問題討論在DC sputtering時，有一個參數(shù)是Impedance范圍0-10000，請問如果過程中如真空度過高或功率很低引起阻抗很大，意味著什么，會不會對電源有損害？

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