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liongo 2011-07-14 11:14

求微光學(xué)制造(使用半導(dǎo)體加工工藝)方面的書(shū)籍

本人對(duì)光學(xué)基本一竅不通,但是因?yàn)樾枰蜒苌涔鈻偶傻組EMS器件上面,需要了解一下微光學(xué)/二元光學(xué)的制作工藝。 cc44R|Kr$$  
因?yàn)槠骷技稍诠枭,所以特求使用半?dǎo)體/MEMS工藝制作工藝在微光學(xué)方面的書(shū)。