HAHA^_^ |
2012-07-12 17:50 |
詳解:LED芯片的制造工藝流程
LED芯片的制造工藝流程,非常詳解的介紹,共55頁。 )kL`&+#> fD\^M{5f 外延生長的基本原理是:在一塊加熱至適當(dāng)溫度的襯底基片(主要有藍(lán)寶石和、SiC、Si)上,氣態(tài)物質(zhì)InGaAlP有控制的輸送到襯底表面,生長出特定單晶薄膜。目前LED外延片生長技術(shù)主要采用有機金屬化學(xué)氣相沉積方法。 gB{]yA"(' *3F /Ft5 詳細(xì)見附件。
|
|