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光行天下 -> 光學(xué)檢測、光學(xué)測量與光機(jī)裝調(diào) -> 150mm菲索干涉儀球面標(biāo)準(zhǔn)具結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計(jì) [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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菲索干涉

2012-07-13 16:26

150mm菲索干涉儀球面標(biāo)準(zhǔn)具結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計(jì)

菲索干涉儀器球面標(biāo)準(zhǔn)鏡參考文獻(xiàn)，很不錯(cuò)的說。

摘要：在高精度的光學(xué)元件面形檢測中,為了保證檢測的精度,必須對高精度菲索干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)鏡的自重和溫度變形進(jìn)行嚴(yán)格地控制。針對高精度菲索干涉儀標(biāo)準(zhǔn)鏡的精度要求, 設(shè)計(jì)了一種新的標(biāo)準(zhǔn)鏡裝卡結(jié)構(gòu)。采用有限元方法分析了標(biāo)準(zhǔn)鏡在膠接方式下的表面變形情況,參考面表面變形峰谷( PV)值僅為9. 6nm , 均方根( RMS) 值為2. 1nm。同時(shí)對不同環(huán)境溫度下參考面的變形進(jìn)行了計(jì)算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介紹球面標(biāo)準(zhǔn)具的裝配過程。

關(guān) 鍵詞：應(yīng)用光學(xué)；菲索干涉儀；標(biāo)準(zhǔn)鏡；鏡面支承；有限元法

心1竹	2012-07-13 16:42
學(xué)習(xí)。。。。。。。 1uco{JX<S

superyu2009	2012-07-13 22:22
呵呵正在研究干涉儀器

hutuwa	2012-07-14 09:25
有那么好的數(shù)據(jù)嗎？ lambda/100 = 6.3nm h$l`)AH^ 還是lambda/10、lambda/20的比較靠譜

taihengjc	2012-07-14 15:02
路過頂下

yu-xuegang	2012-07-14 15:56
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)，

菲索干涉	2012-07-16 14:00
hutuwa:有那么好的數(shù)據(jù)嗎？ lambda/100 = 6.3nm ^G14Z5. 還是lambda/10、lambda/20的比較靠譜 (2012-07-14 09:25) eCjyx\|:J k>F>y\|m 設(shè)計(jì)的吧，真正制造精度能到達(dá)lambda/20不錯(cuò)了

fghiop	2012-07-16 21:33
150mm菲索干涉儀球面標(biāo)準(zhǔn)具結(jié)構(gòu)分析與設(shè)

ekisyou	2012-07-17 08:04
路過，看一下

sandtxj	2012-07-18 15:58
好東西�。�

BASO	2012-07-18 22:12
學(xué)習(xí)。。。。。。。 {__NVv

xiaobing	2012-07-21 20:29
又一個(gè)關(guān)于菲索干涉儀的的帖子

adai22	2012-07-27 00:15
好東西，看看

wangqinqinmm	2012-08-08 13:33
看看什么內(nèi)容

wangqinqinmm	2012-08-08 13:33
看看看看看

hallowy	2012-08-21 09:15
學(xué)習(xí)中。。。

hallowy	2012-08-21 09:15
不知道能不能看到

hallowy	2012-08-21 09:15
lambda/10

tommyliu	2012-10-13 10:21
學(xué)習(xí)一下，謝謝啦

binaryoptics	2012-10-19 23:44
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)好東西

小屁孩兒	2012-10-23 09:29
學(xué)習(xí)一下

ancijade	2012-10-30 21:04
好東西！！

wushenjian	2012-11-13 11:10
xiazaixia

oxfocean	2012-12-14 10:21
高水平的東西，我也來看看

doveathena	2012-12-19 20:30
求學(xué)習(xí)~~~

高瑞	2012-12-21 11:49
呵呵正在研究干涉儀器

油庫里里	2012-12-23 09:52
您好！��！您好！��！非常高興認(rèn)識大家�。。�！

tj13406	2013-01-07 13:51
11111111111111111111

lj351264729	2013-01-09 15:13
路過，感興趣，看看

jackchen6006	2013-01-14 11:14
ZYGO干涉儀檢出9.6nm似乎太好了。

jllvbo	2013-01-17 21:04
菲索干涉儀器球面標(biāo)準(zhǔn)鏡參考文獻(xiàn)，很

ds1234567	2013-01-29 19:49
這個(gè)要看看嗎，應(yīng)當(dāng)。

hhxxgg00	2013-01-30 09:00
好東西啊啊啊

jabil	2013-02-01 13:57
let me thank you

gmx2011	2013-02-06 10:26
看看謝謝LZ

ch12905	2013-02-18 19:05
ding~~支持，學(xué)習(xí) wPq9`9 #

mumapiaoyun	2013-02-18 19:15
學(xué)習(xí)下，好好的，感謝

99658027	2013-03-15 10:33
thanks =uEpeL~d;+

yazhuge	2013-04-11 16:06
學(xué)習(xí)一下，謝謝

doddshi	2013-05-05 00:04
看看先謝了

damoguyanmhl	2013-06-07 21:48
謝謝樓主啊學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

ggyy	2013-07-25 22:54
學(xué)習(xí)，研究，謝謝資料。

逆藍(lán)123	2013-07-29 10:48
表面參考鏡子的傾斜是多少？

逆藍(lán)123	2013-07-29 10:48
我想知道整體的光路怎么序列于非序列相結(jié)合

windgauss	2013-07-30 11:47
好東西下載看看

滄海一聲笑	2013-08-28 17:09
haodongxi

云中山海	2013-09-04 10:27
參考下

lovecc	2013-09-05 10:48
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí) 多謝樓主分享、

ken_jinyan1	2013-09-05 11:25
謝謝樓主

chengzheng	2014-01-02 21:44
謝謝樓主

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