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光行天下 -> 光學檢測、光學測量與光機裝調(diào) -> 150mm菲索干涉儀球面標準具結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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菲索干涉

2012-07-13 16:26

150mm菲索干涉儀球面標準具結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計

菲索干涉儀器球面標準鏡參考文獻，很不錯的說。

摘要：在高精度的光學元件面形檢測中,為了保證檢測的精度,必須對高精度菲索干涉儀的標準鏡的自重和溫度變形進行嚴格地控制。針對高精度菲索干涉儀標準鏡的精度要求, 設(shè)計了一種新的標準鏡裝卡結(jié)構(gòu)。采用有限元方法分析了標準鏡在膠接方式下的表面變形情況,參考面表面變形峰谷( PV)值僅為9. 6nm , 均方根( RMS) 值為2. 1nm。同時對不同環(huán)境溫度下參考面的變形進行了計算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介紹球面標準具的裝配過程。

關(guān) 鍵詞：應(yīng)用光學；菲索干涉儀；標準鏡；鏡面支承；有限元法

心1竹	2012-07-13 16:42
學習。。。。。。。 cE?J]5#^

superyu2009	2012-07-13 22:22
呵呵正在研究干涉儀器

hutuwa	2012-07-14 09:25
有那么好的數(shù)據(jù)嗎？ lambda/100 = 6.3nm BGOI 還是lambda/10、lambda/20的比較靠譜

taihengjc	2012-07-14 15:02
路過頂下

yu-xuegang	2012-07-14 15:56
學習學習，

菲索干涉	2012-07-16 14:00
hutuwa:有那么好的數(shù)據(jù)嗎？ lambda/100 = 6.3nm \|SmN.&(9 還是lambda/10、lambda/20的比較靠譜 (2012-07-14 09:25) iD~s, W2SlS7 設(shè)計的吧，真正制造精度能到達lambda/20不錯了

fghiop	2012-07-16 21:33
150mm菲索干涉儀球面標準具結(jié)構(gòu)分析與設(shè)

ekisyou	2012-07-17 08:04
路過，看一下

sandtxj	2012-07-18 15:58
好東西��！

BASO	2012-07-18 22:12
學習。。。。。。。 [F$3mzx

xiaobing	2012-07-21 20:29
又一個關(guān)于菲索干涉儀的的帖子

adai22	2012-07-27 00:15
好東西，看看

wangqinqinmm	2012-08-08 13:33
看看什么內(nèi)容

wangqinqinmm	2012-08-08 13:33
看看看看看

hallowy	2012-08-21 09:15
學習中。。。

hallowy	2012-08-21 09:15
不知道能不能看到

hallowy	2012-08-21 09:15
lambda/10

tommyliu	2012-10-13 10:21
學習一下，謝謝啦

binaryoptics	2012-10-19 23:44
學習學習好東西

小屁孩兒	2012-10-23 09:29
學習一下

ancijade	2012-10-30 21:04
好東西��！

wushenjian	2012-11-13 11:10
xiazaixia

oxfocean	2012-12-14 10:21
高水平的東西，我也來看看

doveathena	2012-12-19 20:30
求學習~~~

高瑞	2012-12-21 11:49
呵呵正在研究干涉儀器

油庫里里	2012-12-23 09:52
您好�。。∧茫。�！非常高興認識大家！�。�！

tj13406	2013-01-07 13:51
11111111111111111111

lj351264729	2013-01-09 15:13
路過，感興趣，看看

jackchen6006	2013-01-14 11:14
ZYGO干涉儀檢出9.6nm似乎太好了。

jllvbo	2013-01-17 21:04
菲索干涉儀器球面標準鏡參考文獻，很

ds1234567	2013-01-29 19:49
這個要看看嗎，應(yīng)當。

hhxxgg00	2013-01-30 09:00
好東西啊啊啊

jabil	2013-02-01 13:57
let me thank you

gmx2011	2013-02-06 10:26
看看謝謝LZ

ch12905	2013-02-18 19:05
ding~~支持，學習 y0Ag px

mumapiaoyun	2013-02-18 19:15
學習下，好好的，感謝

99658027	2013-03-15 10:33
thanks ,<%],-Lt[

yazhuge	2013-04-11 16:06
學習一下，謝謝

doddshi	2013-05-05 00:04
看看先謝了

damoguyanmhl	2013-06-07 21:48
謝謝樓主啊學習學習

ggyy	2013-07-25 22:54
學習，研究，謝謝資料。

逆藍123	2013-07-29 10:48
表面參考鏡子的傾斜是多少？

逆藍123	2013-07-29 10:48
我想知道整體的光路怎么序列于非序列相結(jié)合

windgauss	2013-07-30 11:47
好東西下載看看

滄海一聲笑	2013-08-28 17:09
haodongxi

云中山海	2013-09-04 10:27
參考下

lovecc	2013-09-05 10:48
學習學習多謝樓主分享、

ken_jinyan1	2013-09-05 11:25
謝謝樓主

chengzheng	2014-01-02 21:44
謝謝樓主

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