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光行天下 -> 光學(xué)設(shè)計(jì)及經(jīng)驗(yàn) -> 光刻機(jī)鏡頭設(shè)計(jì) [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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文刂大田	2018-07-18 10:38
光刻機(jī)鏡頭設(shè)計(jì) 學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

raja	2018-07-18 13:31
這個(gè)比較高大上，了解一下。

yuanch1982	2018-08-06 15:57
看看,學(xué)習(xí)學(xué)習(xí).!!!

lxm1984111	2018-08-22 22:22
支持一下學(xué)習(xí)中

visuangle	2018-08-23 08:08
謝謝看看學(xué)習(xí)

18258820172	2018-08-23 11:02
希望可以有所收獲

995199086	2018-09-11 11:04
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

daoyeer	2018-09-11 11:11
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)一下

cyibao	2018-10-12 17:16
0.75，工作波長(zhǎng) 193nm（ArF）投影光刻物鏡的光學(xué)設(shè)計(jì)。同時(shí)為最大限度地降低投影光刻物鏡的制造成本并確保的各項(xiàng)性能指標(biāo)，研究投影光刻物鏡可能采取的像質(zhì)補(bǔ)償措施和方法。 F%< ZEVm CAJ文件