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2013-04-02 09:09 |
光刻機照明系統(tǒng)設(shè)計
隨著微電子產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，我國迫切需要研制極大規(guī)模集成電路的加工設(shè)備-光刻機。曝光波長為 193nm 的投影式光刻機因其技術(shù)成熟、曝光線寬可延伸至 32nm 節(jié)點的優(yōu)勢已成為目前光刻領(lǐng)域的主流設(shè)備。照明系統(tǒng)是光刻機的重要組成部分，其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實現(xiàn)離軸照明，以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計為研究方向，對照明系統(tǒng)關(guān)鍵單元進行了光學(xué)設(shè)計與仿真研究。 h)8+4?-4 I
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